Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Электротехника /

Опис книги:

От издателя:Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития.

ISBN: 5-94836-039-3


Замовити книгу


Сайт javalibre.com.ua пропонує сервіс пошуку літератури в форматі паперових книг по інтернет магазинах, які здійснюють доставку товарів по Україні. За допомогою каталогу Ви можете знайти потрібну Вам книжку і замовити доставку на зручну для Вас адресу.